圓管蝕刻機的操作流程可分為以下關(guān)鍵步驟，需結(jié)合化學蝕刻與機械加工特性。
一、預(yù)處理階段
材料檢驗
檢查圓管表面是否存在劃痕或氧化層，不銹鋼管需確保鉻含量≥16%以保障耐蝕性。
靜電除塵
使用離子風表面顆粒（粒徑＞0.5μm的灰塵需），避免光刻膠涂覆缺陷。
二、圖案轉(zhuǎn)移
掩膜制作
濕法工藝：噴涂感光油后紫外曝光（能量密度15-20mJ/cm2），顯影形成抗蝕刻圖案
干法工藝：采用噴墨印刷直接生成掩膜層，線寬精度可達±0.01mm
封邊處理
圓管端部需用耐酸膠帶密封，防止蝕刻液滲入內(nèi)壁
三、后處理
中和清洗
先用5%NaCO溶液中和殘留酸液，再經(jīng)超聲波清洗（頻率40kHz）蝕刻渣
表面鈍化
不銹鋼管需硝酸鈍化處理（濃度20%，溫度50℃）以恢復(fù)耐腐蝕性
規(guī)范
操作人員穿戴防酸手套（丁基橡膠材質(zhì)）和護目鏡
廢液需單獨收集，含銅廢液與含鐵廢液不得混合存儲
注：對于高精度要求的管件，建議采用干法等離子蝕刻（如CF氣體），側(cè)壁垂直度可達89°±0.5°。
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